第578章 烧钱

中关村科技大楼，五楼顶层。

这里不对外开放，作为由陈春仙主持的、华夏硅谷公司的自主研发项目光刻机的设计研发基地。

活了两辈子，时至今日，在此地，李建昆终于在现实中接触到光刻机。

对于光刻机的了解，不再停留在键盘侠的层次。

位于廊道尽头的一间实验室，有一扇硕大的对开式铁皮门，实验室里没有任何窗户，铁皮门关起来的话，处于全封闭状态。

在房间右侧靠墙的位置，静静“躺”着一台机械、电子和光学等，多种科学凝聚而成的智慧结晶。

它的体积比李建昆想象中要小一些，精密程度也不如记忆中的某些图片上复杂，大概率是由于功能还不够强大的缘故。

这是一台由清华9003所自主研发的，第二代接近式光刻机。

整体像只柜子，矩形规格，大小等于两只对开门的衣柜拼凑在一起。

李建昆绕着圈圈，饶有兴致打量时，陈春仙像是给他做介绍，又像是在做某种铺垫，朗声道

“二代光刻机和一代，最大的区别在于，一代使用的是436n的ge光源，二代使用则是365n的ie光源。”

他居然以为李建昆能听懂

可见早前凭借键盘侠技术，李建昆在他心中竖立起何等专业的形象。

“不过一代和二代本质上其实差不多，都属于接触接近式光刻机，各自缺点明显，一代光刻机由于掩膜和光刻胶直接接触，易受污染；二代改良过后，却又出现新的问题，受气垫影响，成像精度还是不如人意。”

李建昆装模作样问“所以呢”

“要颠覆。”

陈春仙指了指清华圆的方向，“我跟那边详细讨论过，也通过国外行业能搜集到的皮毛资料，做过深入研究。下一代光刻机，需要摒弃掉接触接近的方式，技术出路一定在光学投影这一块。”

对喽

李建昆眼神大亮，作为资深键盘侠，你跟他说具体怎么造一台光刻机，其中涉及哪些细微技术，他是真不懂。但大的技术特点，他还是有所了解的。

第三代光刻机的称谓，正是叫作“扫描投影式光刻机”。

“有研发思路吗”

没有我给你点李建昆心想。打算先听听老陈怎么说。

陈春仙进入科研状态，像是在与一个同层次的科学家，进行深刻探讨，很认真地说道“抛弃接触接近的方式，那么只能采取隔空曝光的形式，首先要利用光学透镜聚集衍生光，提高成像质量，其次使用扫描技术实现曝光。”

好家伙

思路完全正确

怕不是从9003所偷师的吧

否则仅仅研究一年，能有这么精准的思路

倒真应了那句老话，前人栽树后人乘凉，就是舒坦。

李建昆竖起一根食指，“还有一点，光刻机的衍生迭代，其最终的目的，是为获得更精细的制造工艺，你上面的所说的，即使全部实现，只能提升良品率。在光源上还需要有所改变，我建议使用激光。”

陈春仙诧异瞪眼，“这伱都懂”

他并非不说，是怕说出来这小子一脸懵逼。

激光，那是绝对的尖端科技。

李建昆尬笑挠挠头，“略懂略懂。”

“要不你来研发吧，我去干别的，你这不是啥玩意都清楚”陈春仙由衷道。

对于光刻机的研发，他高低欠缺一点兴奋度。

为啥呢

即使今天把三代光刻机研发出来，国内的工厂，哪家用得上

生产那些个收音机、录音机、电视机，甚至是电话机，二代光刻机够够的，一代都够用。现实的情况则是，多半工厂根本不用光刻机，仍然采用最原始的蚀刻电路法，进行ic集成电路的生产。

诚然，光刻机更好。

奈何他们似乎并不想改进。

“别别别”李建昆连连摆手。老陈的想法，他心知肚明，光刻机目前在国内的应用范围，相当狭窄，真让人浑身提不上劲。

他不得不做一番工作，给打打鸡血。

“老陈啊，你要明白，芯之于电子科技，犹如心脏之于人，你想效仿美利坚，将中关村打造成华夏硅谷，推动科技产业的发展，少了电子科技这颗芯，是不行的。纯机械时代终究成为过去式，未来没有任何科技产业，能脱离电子。”

所幸老陈也是多次出国，见过世面的人，无法反驳这番话。

话题回到“激光”上，陈春仙对他的意见表示赞同，“确实如此，国际上的三代光刻机，使用的正是激光光源，实现了跨越式的发展，将最小工艺推进到180130n，我和9003所的人探讨过，使用的是248n的krf激光无疑。”

老陈说完，双眼一眨不眨盯着李建昆。

李建昆明白，问题来了。

即使搞明白原理