很厉害的。
“办法当然是有的。”秦涛说道“他们不给我们设备,那我们就得靠自己的本事来自研了,以后我们研发到世界先进水平,他们还得来求我们哼,以后得看我们的脸色”
秦涛的话掷地有声,在场的所有人都睁大了眼睛“秦总,您已经有想法了”
“是啊,靠别人是靠不住的,只能靠我们自己,不过,我们还需要人。”秦涛说道“目前咱们国内研制光刻机项目的技术专家团队,希望能成为我们明州集团的下属单位,当然了,如果他们不同意,我们也能联合成立一个公司。”
“这件事,咱们帮忙去协调”武胜利立刻就做了承诺。
想要制造芯片,就需要叫做光刻机的设备,这东西绝对就是印钞机一样的存在,只要有这种设备,那企业就能赚大钱。
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光刻机的原理很简单,相当于一个高精度的照相机,把设计好的电路投影到硅片上,但是,具体造出来,就很难了。
国内的起步并不晚,在66年,109厂与华亭光学仪器厂协作,研制成功我国第一台65型接触式光刻机,由华亭无线电专用设备厂进行生产并向全国推广。1978年,中科院半导体所开始研制jk1型半自动接近式光刻机。
在六五期间,45所进行了bg101型ds光刻机的研究工作,并于1985年成功研制出bg101分步光刻机,在当年年底通过了部级技术鉴定,该机的主要性能指标接近或达到美国gca公司4800ds系统的水平。
但是,由于这方面要投入大笔的资金,国内正在搞经济建设,所以,在光刻机的研发方面就放弃了,国内原本和国外只有五到十年的差距,结果到了后世,差距扩大到了二十年以上。
说起光刻机巨头来,就得提到阿斯麦,这个代号为as的光刻机公司,属于全球最先进的,每年生产出来的光刻机供不应求,台积电和三星这些公司为了这些光刻机打破了头,中芯国际更是等了数年也没有拿到货。
但是实际上,在现在这个时期,阿斯麦还是一个小公司,挤在菲利普总部旁边的板房里办公,要多惨有多惨,所以,现在起步的话,还不算晚
要说这个时代的巨头,那就是大名鼎鼎的尼康了。
原因很简单,因为光刻机的本质就是个投影机和照相机,用光来作为刀子,把设计好的电路投射到硅片上,尼康原本就是制造照相机的,属于专业对口,这个年代的尼康,就和后世的阿斯麦一样,手头握着大批的订单,其他工厂的采购人员,天天堵在尼康的大门口等着交货。
不过,九十年代最大的光刻机巨头尼康,衰落也是很快的,这其中有政治上的纠纷,也有技术路线的选择错误。
在芯片领域里,有一个着名的摩尔定律,芯片的性能每隔18到24个月就得翻一倍,这样,芯片的制造技术也得不断地前进才行。
在现在这个时代,其实光刻机的技术还不是很难,毕竟阿斯麦的起家的时候,不过只有三十几个人的团队,甚至就连英特尔等不及尼康的光刻机,自己也可以做几台应急,不过就是把大批的零件买回来,拼拼凑凑,造个特殊的照相机。
尼康的牛逼之处,就是人家是产业链集合,所有的零件都能自己搞定。
但是,在进入九十年代,光刻机的生产商碰到了一个技术关卡光刻机使用的光源是193纳米的,它就限制了光刻机的继续升级
想要凋刻东西越精细,刀子就得越锋利,193纳米的激光已经不够细了,接下来该怎么办呢
尼康作为科技巨头,想的办法也很简单,直接换用157纳米的2激光,这样就能解决问题了。
而为了对抗尼康成立的euv c联盟则押注更激进的极紫外技术,将光源切换成十几纳米的极紫外光,这样不仅仅能解决现有的问题,还能一直用到以后,刻十纳米以下的芯片制程都没问题。
但是,这两种技术都不容易,都面临着技术难关,这就是九十年代最出名的193纳米关卡
凡是遇到难关的时候,总是有天才出现的,现在也不例外,一个名叫林本坚的鬼才工程师出现了。
当光线透过水之后,频率不变,但是波长会发生变化,这就是水的折射率,所以,只要在光刻机的光源和硅片之间加一层水,让原本的193纳米的激光发生一次折射,不就能大大地降低了吗
简单计算就能知道,波长会降低到132纳米
这样,不仅仅能降低了光刻机的波长,刻蚀更加精密的电路,而且,对机器的改动还最小
以前的就叫做干刻法,现在可以叫做湿刻法了
林本坚提出来了这项技术,兴致勃勃地跑出去推销,但是,全部都吃了闭门羹
美国、德国、日本,一个个的光刻机巨头,面对着这个说法都是嗤之以鼻在精密的机器中加入水,成为一个浸润环境,就不怕水漏了吗短期来看