,只是精密度上的细微差别,也是这些细微差别导致了尼康佳能走在了阿斯麦的后面。
庄纯选择的是阿斯麦的制备流程。cad2();
接下来的日子里,庄纯早出晚归,像是外出劳作的农民伯伯般。
而羊驼村也在大把银子撒下去日新月异,最先进行施工的除了庄纯额外要求的实验室和机房外,便是那条小河。
当然一些已经有方案的村民们的房子也开始动工建设,主干道也在建设,总之,有了钱,一切都不是问题。
物镜的制备成功只是一个开始,接下来,庄纯先后完成了光刻机各关键部件的制备,两台样式不太相同的光刻机一点一滴的变成成品。
这日。
庄纯将要制备最关键的东西,光源。
阿斯麦和尼康佳能选择的是直接从德国某公司购买,庄纯也通过某些特殊渠道拿到了这种名为极紫外的光源的制造工艺,嗯,你们懂的。
阿斯麦最先进的光刻机已经采用这种光源成功将关键尺寸缩小到了7nm,甚至有望突破更小的极限。
而系统提供的光源制造工艺则采用了另一种方式,称之为量式固态紫外光源,理论上的极限光源,已突破物理极限。
制备流程相当复杂,庄纯依托庞大的实验数据支撑,以及海量的材料消耗,也足足费了两三天的时间,才成功制备出了这种光源。
庄纯却不知,如果这个实验室的成果公之于众的话,全世界都会震惊,毕竟华夏2017年初才刚宣称历时五年终于研制出世界最亮极紫外光源……